エッチングに対するチャンバー圧力の影響は何ですか?

とは何ですかEの影響CハンバーP圧力をかけるEチクチク？

チャンバーの圧力はどのように調整されていますか?エッチングの結果にはどのような影響がありますか?

チャンバー圧力とは何ですか?チャンバー圧力とは、エッチング装置のプロセス チャンバー内のガスの圧力を指し、通常は Torr または Pascal で測定されます。

o チャンバー圧力は何によって決まりますか?
1.ガス流量が多いほど、圧力は大きくなります。
2.真空ポンプは通気されており、ポンプ速度が高くなるほどチャンバー圧力は低くなります。

o エッチングに対するチャンバー圧力の影響
1.イオン衝撃エネルギー。圧力が低く、分子の平均自由行程が大きく、イオンの衝突確率が小さく、エネルギー散逸が少ないため、エネルギーが高い。
2.フリーラジカルに対するイオンの比率。低圧ではイオンの割合が高くなり、物理的なエッチングが起こりやすくなります。高圧では、フリーラジカルの割合が高いため、化学エッチングが促進されます。

エッチングの均一性。高圧では、高周波衝突によりガス流量が減少し、フリーラジカルがエッジ領域を含むウェーハ表面のすべての部分に拡散しやすくなり、ウェーハ表面全体に曝露された反応物質の濃度が均一になります。エッチング速度は同じになる傾向があります。

まとめ
0020-24896 カバー リング 6 インチ SST 101 AL

0020-28205 6" TI カバー リング
チャンバ圧力の増加に伴い、エッチング反応は物理エッチングから物理＋化学エッチング、化学エッチングへと徐々に変化します。