単一の液体ノズルと2フルイドのノズルとは何ですか

何ですかSイングルFluidNオズルvs aTwo-fluidNオズル？

ノズルとは何ですか?

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ノズルは、半導体ウェット処理装置の重要なコンポーネントであり、溶液をスプレーパターンに分散させ、化学反応、洗浄、エッチング、その他の目的のためにウェーハの表面にスプレーします。通常、単一流体ノズルと2フロイドノズルの2つのタイプに分かれています。

単一の液体ノズルと2フルイドノズルとは何ですか？

単一流体ノズル：1つの流体のみが必要であり、スプレー効果はノズルアパーチャの変化と内部設計によって制御されます。 2。液体ノズル：スプレー効果は、2つの異なる液体（液体薬と窒素）を混合することで達成されます。
第二に、流体ノズルの原理


2フルイドノズルのデザインはさまざまであり、写真のデザインについて説明します。
この画像は、2つの2流体ノズル、外側の混合ノズルと内側の混合ノズルの構造を示しています。
外部混合ノズル：液体は中央の液体チャネルに噴霧され、霧化空気（通常は圧縮空気または窒素）が周辺の複数のチャネルから高速で噴霧されます。液体とガスはノズルの外側に混合され、高速の空気ストリームはストリームを小さな液滴に引き裂き、通常はファンまたは円錐形のスプレーの形で細かく均一な霧化効果を生み出します。
内部混合ノズルの液体と霧化ガスは、ノズル内の混合ゾーンで出会い、内部混合後に高速でノズルからのみ排出されます。混合はすでに社内で行われているため、排出された液滴はサイズが小さく、より均等に霧化されます。

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単一の流体よりも2つの流体の利点？
1.化学溶液の低消費
2.機械的衝撃力は強く、複雑な構造に簡単に入ることができ、除去効率が高くなります

3.液滴は超高速（約数ミクロン）で高く霧化されています