PECVDのシャワーヘッドは何をするのですか?

0020-30797 多孔板シャワーヘッド

0021-35869 シャワーヘッド

 

PECVD プロセスにおけるシャワー ヘッドの役割?

上の図に示すように、シャワーヘッドはスプリンクラーヘッド、シャワーヘッドなどとも訳され、通常は反応ゾーンの上部にぴったりとフィットし、ガス入口として機能し、小さな穴を通して反応ガスをチャンバー内に均一に注入します。その表面に。もちろん、ガス分配の機能だけではなく、電極の一部として使用するように設計されたものもあります。
の機能 シャワーヘッド？

シャワーヘッドの表面は緻密な細孔で覆われており、反応ガスが流入後、均一に数回に分けられ一定の流量でウエハ上に送られるため、反応ガスが全体を均一に覆います。ウェーハ表面をより均一なコーティングを生成します。シャワーヘッドが電極の一部である場合、RF 電源はその表面に均一な電場を生成し、均一なプラズマを形成できます。

シャワーヘッドの製造には一般的にどのような金属が使用されますか?

最も一般的なのはアルミニウムで、熱伝導率が高く、耐腐食性があります。石英やセラミックもシャワーヘッドの製造に使用できます。