プレバキュームコンベア（ロードロック）と搬送プラットフォーム本体

プレ真空コンベアは、大気と真空の移送室であり、反応室が外部の大気と直接接触しないように隔離し、反応室の清浄度を確保し、反応室の汚染の可能性を低減するために使用されます。フロントエンドモジュールがプレ真空コンベアにウェーハをピックアップして配置する必要がある場合、窒素を充填し、キャビティ内の空気圧を大気圧状態に調整してから、フロントエンドモジュール側のプレ真空コンベアのトランスミッションバルブを開いてウェーハをピックアップして配置します。トランスファーチャンバー（トランスファープラットフォームの一部）からプレ真空トランスファーボディにウェーハをピックアップして配置する場合は、真空ポンプを使用してプレ真空トランスファーボディ内のガスを排気し、真空状態に調整してから、プレ真空トランスファーボディの反対側のトランスファーバルブを開き、ウェーハのピックアップと配置を実行する必要があります。

転送システムでウェーハを搬送するための具体的な手順は次のとおりです。すべてのドアが閉じられる→ウェーハのローディング ポートが開き、ウェーハ カセットのドアが開かれる→大気圧マニピュレータがカセットのウェーハ ボートからウェーハをつかむ→ウェーハがアライナーに置かれる→ウェーハの位置が調整される→窒素ガスが LoadLockA に充填される→ LoadLockA のドアが開かれる→大気圧マニピュレータがウェーハを LoadLockA に配置する→ LoadLockA のドアが閉じられる→ LoadLockA が真空になる→反応室のドアが開かれる→空のマニピュレータがウェーハを反応室に入れる→反応が行われる→反応が完了したら、反応室が真空になる→転送室のドアが開かれる→真空マニピュレータがウェーハを転送室に移動させる→反応室のドアが閉じられる→ LoadLockB のドアが開かれる→真空マニピュレータがウェーハを LoadLockB に移動させる→ LoadLockB のドアが閉じられる→ LoadLockB が窒素で充填される → LoadLockBのドアを開く→ 大気マニピュレータがウェハをLoadLockBから移動させる→ LoadLockBを閉じる