パルス電源を使用したドライエッチングの利点？

連続波のパワーモードよりもパルスモードの利点は何ですか？パルスと連続波の電力モードとは何ですか？

上の図に示すように、最初の図はCW、連続波です。連続波（CW）とは、一定のパワーと強度を伴う連続的かつ一定の波形を指します。通常、狭いスペクトルと安定した出力を備えた単一周波数信号として表示されます。 CWの平均パワーはピーク電力に等しく、信号特性はシンプルで制御しやすいです。 CWの主な利点は、安定性が高いことです。これにより、信号の連続性が重要なアプリケーションに最適です。同時に、CW信号のノイズレベルは低く、正確な測定と分析を容易にします。さらに、CWシステムの設計は比較的単純であり、パワーや周波数などの制御パラメーターを簡単に調整できます。 CWモードでは、出力は途切れ途切れのパルスのない連続波​​形です。

0040-31980ガスボックスEC WXZ

2番目はPW、パルスパワーです。パルス波は、時間内に中断される波形であり、短期間にわたって高強度の一連の信号で構成されます。パルスは期間が限られており、一定の期間後に繰り返されます。パルス波には、平均電力よりもはるかに高い瞬間ピーク電力の特性があり、出力スペクトルは広く、より多くの周波数成分が含まれています。パルス波の最大の利点は、その瞬間的な高ピーク電力であり、短期間で非常に高いエネルギーを放出できます。さらに、信号の断続的な出力により、パルス波の平均出力は低く、機器の熱負荷圧力が効果的に低下します。その結果、高い時間分解能または瞬時の高出力を必要とするアプリケーションに最適です。 PWモードでは、電源の出力電力は時間の一部であり、時間の一部です。

0040-09095ガスボックス、wcvd
パルス電源の特徴?
1、間隔の作業は時間的に熱を放散することができ、反応物がウェーハの表面に輸送する時間を持つことができます。

2、出力電力は非常に大幅に増加することができ、持続時間は非常に短く、パルス出力、周波数、時間などは非常に正確に制御できます。
パルスモードを使用することの利点?
1、マイクロロード効果を排除します。深い穴や深い溝など、高いアスペクト比を備えた構造エッチングで。小さいサイズの穴またはスロットは、より大きなサイズの穴やスロットよりも小さなエッチング速度を持っています。 CWモードを使用すると、圧力を下げてバイアス電圧を増加させることでマイクロロード効果を改善できますが、パルスモードを使用することでマイクロロード効果を大幅に改善できますが、改善する能力は限られています。

2、ウェーハ表面損傷を減らします。バイアス供給にパルスが使用される場合、プラズマがウェーハを攻撃するのにかかる時間を減らすことができ、それにより表面損傷が減少します。