フィルムの膨らみと亀裂は同じ種類の応力によって引き起こされるのでしょうか?

0010-21827 8」シールド アセンブリ

 

0021-35869 シャワーヘッド

応力にはどのような種類がありますか?また、さまざまな種類の応力によってフィルムにどのような問題が発生する可能性がありますか?内部応力の種類?

内部応力には多くの分類があり、作用の影響に応じて分けると圧縮応力と引張応力に分けられます。
上の図に示すように、圧縮応力は基板によるフィルム層の圧縮力であり、フィルム層は収縮する傾向があります。引張応力は、基板によるフィルム層の張力であり、フィルムは膨張する傾向があります。
フィルムの膨れやひび割れの原因は何ですか？

上図に示すように、圧縮応力の影響により、膜層は圧縮応力によって圧迫され、原子または分子間の距離が減少します。応力が大きすぎると、圧倒された分子または原子は別の方向に発達することを選択します。肉眼的には小山のような突起として現れます。

上図に示すように、引張応力の影響で膜が伸び、原子間距離が広がり、応力が大きすぎると分子間や原子間の空隙を補うことができなくなり、巨視的には次のような現象が現れます。フィルムのひび割れ。
内部ストレスによって他にどのような問題が引き起こされる可能性がありますか?
圧縮応力：ウェーハの反り、膜の泡立ちなど
引張応力：ウェーハの反り、膜剥がれなど